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ASML新一代EUV光刻机上路:单价超26亿
发布日期:2022-05-20 15:59:18  稿源:快科技

EDA和光刻机可以说是芯片研发、生产设备皇冠上的明珠。最新消息称,荷兰ASML正在研发新款光刻机,价值高达4亿美元(约合26亿元人民币),双层巴士大、重超200吨。原型机预计2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出货。

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这款机器应该指的就是High-NA EXE:5200(0.55NA),Intel是全球第一个下单的公司。所谓High-NA也就是高数值孔径,2nm之后的节点都得依赖它实现。

在ASML公布的今年一季度财报中,EXE:5200已经订出去不止一台。按计划,第一台原型试做机2023年开放,预计由imec(比利时微电子研究中心)装机,2025年后量产,第一台预计交付Intel。

据了解,实际上,ASML的EUV光刻机非常庞大,现售的0.33NA EUV光刻机拥有超10万零件,需要40个海运集装箱或者4架喷气货机才能一次性运输完成,单价1.4亿美元左右。

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